濕度傳感器的測量原理有多種，核心都是通過感知空氣中水蒸氣含量引起的某種物理或化學性質變化。以下是幾種主流濕度傳感器的測量原理、特點和常見應用。
　　1.電阻式（電容式是最主要的電阻式變種，但常單列）
　　原理：敏感材料（如氯化鋰、高分子聚合物）的電阻值會隨環境濕度變化。濕氣吸附導致材料離子導電性增強，電阻下降。通過測量電阻值的變化來推算濕度。
　　特點：
　　1）結構相對簡單。
　　2）但易受溫度影響，線性度較差。
　　3）部分材料在高溫高濕下可能發生溶解或遷移，壽命較短。
　　常見類型：早期氯化鋰濕度計。

　　2.電容式（當前最主流、應用廣的技術）
　　原理：利用介電常數變化。傳感器由一個高分子薄膜或金屬氧化物薄膜作為介電質，其上下有電極形成平板電容器。空氣中水分子被薄膜吸附后，會改變其介電常數，從而導致電容值發生變化。測量電容值即可得到相對濕度。
　　特點：
　　1）響應快、線性度好、功耗低、溫度系數小。
　　2）體積可以做得非常小（集成芯片化）。
　　3）在常規濕度范圍（0%-80%RH）內精度高，壽命長。
　　是目前消費電子、汽車、家電、工業控制等領域的主流選擇。
　　典型產品：大多數溫濕度模塊（如維薩拉，羅卓尼克系列）的核心都是電容式濕度傳感器。

　　3.熱導式
　　原理：基于干空氣與濕空氣導熱能力的差異。傳感器通常有兩個熱敏元件，一個密封在干燥氮氣中，另一個暴露在環境空氣中。通過測量維持兩者在相同溫度所需功率的差值，或兩者的熱導率差值，來計算絕隊濕度。
　　特點：
　　1）測量的是絕隊濕度，在高溫高濕環境下優勢明顯。
　　2）響應速度較慢。
　　3）結構復雜，成本較高。
　　應用：烘干機、工業高濕環境、科學測量。

　　4.稱重法（絕隊基準，非商業傳感器常用）
　　原理：最直接、精確的方法。讓一定體積的干燥空氣通過吸濕劑（如五氧化二磷），精確稱量吸濕劑吸收水分后的重量增加，從而計算出單位體積空氣中的水汽質量（絕隊濕度）。
　　特點：
　　1）設備復雜、操作繁瑣、無法在線連續測量。
　　2）作為一級標準，用于校準其他類型的濕度傳感器。

　　5.其他原理
　　光學/露點法：通過制冷鏡面，測量水蒸氣開始凝結成露（霜）時的露點/霜點溫度，結合環境溫度可精確計算相對濕度。這是高精度測量的基準方法之一，常用于氣象、校準實驗室。
　　諧振式：在石英晶體或表面聲波器件上涂覆吸濕材料，吸附水分后質量增加，導致其諧振頻率改變。精度高，可做成傳感器陣列，但成本也高。
　　微波/紅外吸收式：利用水分子對特定波段電磁波的特征吸收。通過測量穿過氣樣后的能量衰減來計算水汽濃度。常用于大型管道、氣象遙感、工業過程。